磁控溅射法制备一维CdTe纳米棒阵列研究

来源期刊：功能材料2015年第18期

论文作者：罗炳威 邓元 高歌

文章页码：18043 - 18047

关键词：CdTe;纳米棒;阵列;纤维锌矿相;

摘    要：利用磁控溅射法,研究了不同基底温度和工作气压对CdTe薄膜微纳米结构的影响。XRD和SEM表征结果表明,基底温度直接决定着CdTe粒子的生长和表面扩散能力,工作气压会直接影响入射在衬底表面的粒子能量,溅射功率决定提供CdTe粒子的量。通过生长条件的进一步探索和优化,最终在溅射功率为84 W、工作气压为0.4 Pa和石英基底温度为200~450℃时成功获得直径约150 nm,形貌均一的一维CdTe纳米棒阵列。