Cr203涂层对A1203绝缘瓷二次电子发射特性的影响
来源期刊:无机材料学报2001年第3期
论文作者:蒋立新 蔡亚平 郑家贵 周心明 罗四维
关键词:Cr203涂层; α-A1203绝缘瓷; 二次电子发射特性;
摘 要:用CT203涂复α-A1203绝缘瓷表面,并经热退火处理。观测了它们的二次电子发射系数、SEM、XRD、XPS和EELS,发现样品在退火后,涂层元素扩散进了A1203陶瓷基底,生成了新相;根据XPS和EELS的分析结果,表面层能隙减小,能隙中的缺陷态、杂质态及表面态增加,提供了更多可能的复合中心和陷阱中心,有利于非平衡载流子的散射跃迁,从而大大耗散能量,减少二次电子发射。
蒋立新1,蔡亚平2,郑家贵2,周心明2,罗四维1
(1.中国工程物理研究院应用电子研究所,;
2.四川大学材料科学系,)
摘要:用CT203涂复α-A1203绝缘瓷表面,并经热退火处理。观测了它们的二次电子发射系数、SEM、XRD、XPS和EELS,发现样品在退火后,涂层元素扩散进了A1203陶瓷基底,生成了新相;根据XPS和EELS的分析结果,表面层能隙减小,能隙中的缺陷态、杂质态及表面态增加,提供了更多可能的复合中心和陷阱中心,有利于非平衡载流子的散射跃迁,从而大大耗散能量,减少二次电子发射。
关键词:Cr203涂层; α-A1203绝缘瓷; 二次电子发射特性;
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