碳热还原法制备SiC的热力学分析

王福¹，李艾²，郝玉翠^2,3，郝斌^2,3

1. 中国科学院唐山高新技术研究与转化中心2. 唐山学院环境与化学工程系3. 唐山市微纳米材料制备及应用重点实验室

摘 要：对碳热还原法制备SiC进行了热力学分析。通过热力学计算,分析了CO分压、SiO₂和C颗粒的粒度及其混合的均匀性对制备SiC反应的影响。结果表明:一定温度下降低CO的分压能有效增大反应生成SiC的热力学趋势;对碳热还原反应而言,SiO₂颗粒和C颗粒的混合均匀性及其各自的粒度非常重要;通过控制温度和调整CO气体的分压,可以控制生成SiC的微观形貌。

关键词：碳热还原;SiC;热力学分析;