氧和铝在氧化铝中的自扩散参数评估

来源期刊：工程科学学报2001年第5期

论文作者：罗世永 张家芸

文章页码：414 - 417

关键词：自扩散;参数评估;氧化铝单晶;

摘    要：评估了氧和铝在Ａｌ２Ｏ３中的自扩散参数，分析了其扩散机理．得出：（１）在１７７０～２１００Ｋ 温度范围内，氧分压不超过１．０×１０５Ｐａ时，杂质总含量为３０×１０－６～５００×１０－６，Ｍｇ，Ｔｉ含量低于３０× １０－６的未掺杂Ａｌ２Ｏ３单晶中，氧的自扩散系数与温度的关系式，氧分压和扩散方向对该扩散系数 值影响不明显．（２）在１９４３～２１７８Ｋ范围，多晶Ａｌ２Ｏ３中铝的自扩散系数在１０－１５到１０－１４ｍ２／ｓ之间， 扩散活化能为 ４７７ ｋＪ／ｍｏｌ．（３）单晶Ａｌ２Ｏ３中主要杂质为ＴｉＯ２和 ＭｇＯ，掺Ｔｉ将降低氧的自扩散系 数，增加铝的自扩散系数；掺Ｍｇ使氧的自扩散系数略有增加；其他杂质对氧和铝在Ａｌ２Ｏ３中的 扩散系数影响不大．（４）氧和铝均通过空位扩散．