中心组合设计法在静电吸盘绝缘层结构优化中的应用

来源期刊：机械设计与制造2014年第1期

论文作者：李春光 黄利平 田凌 张泽明

文章页码：1 - 9

关键词：静电吸盘;晶圆传热;中心组合设计;自适应进化优化;结构优化;

摘    要：为研究等离子体刻蚀中静电吸盘绝缘层结构对晶圆温度分布均匀性影响,建立了晶圆与静电吸盘三维传热模型,采用中心组合设计方法分析了晶圆半径、进气带半径、进气孔半径、槽道深度、粗糙度最大轮廓五个结构变量对均匀性的影响,得到结构变量与均匀性的二次响应面方程。采用自适应进化算法对响应面方程优化,结果表明进气孔半径、槽道深度、粗糙度最大轮廓是最显著影响因素,响应面计算结果与仿真结果一致,该方法可用于静电吸盘的设计研发。