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铁电薄膜中的电畴研究进展

来源期刊:材料导报2004年第10期

论文作者:胡立业 陈宏伟 符春林 王迎新 杨传仁

关键词:电畴; 铁电薄膜; 临界尺寸; 表征方法;

摘    要:铁电薄膜是一类重要的功能材料,铁电畴是其物理基础.综述了铁电薄膜中电畴的表征方法(高分辨透射电镜、扫描力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱等)、类型(c畴和a畴、180°畴和90°畴等)、临界尺寸(单畴临界尺寸和铁电临界尺寸)等方面的研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.

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铁电薄膜中的电畴研究进展

胡立业1,陈宏伟1,符春林1,王迎新1,杨传仁1

(1.电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054)

摘要:铁电薄膜是一类重要的功能材料,铁电畴是其物理基础.综述了铁电薄膜中电畴的表征方法(高分辨透射电镜、扫描力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱等)、类型(c畴和a畴、180°畴和90°畴等)、临界尺寸(单畴临界尺寸和铁电临界尺寸)等方面的研究进展,提出了研究中需要解决的一些问题.

关键词:电畴; 铁电薄膜; 临界尺寸; 表征方法;

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