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硫化温度对FeS2薄膜的晶体结构和光电性能的影响

来源期刊：材料科学与工程学报1999年第4期

论文作者：徐文雷刘茂森孟亮

关键词：FeS2薄膜; 热硫化; 组织结构; 光电性能;

摘要：本文用磁控溅射法制备的纯Fe膜,再在S 气氛中(80kPa)于不同的温度下(200～600℃)进行热硫化,硫化时间为10h,使其转变成为FeS2薄膜,并研究了硫化温度对转变形成的FeS2薄膜晶体结构、化学成分、组织形貌和光电性能的影响规律.

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徐文雷¹，刘茂森¹，孟亮¹

(1.浙江大学材料系,浙江杭州,310027)

摘要:本文用磁控溅射法制备的纯Fe膜,再在S 气氛中(80kPa)于不同的温度下(200～600℃)进行热硫化,硫化时间为10h,使其转变成为FeS2薄膜,并研究了硫化温度对转变形成的FeS2薄膜晶体结构、化学成分、组织形貌和光电性能的影响规律.

关键词:FeS2薄膜; 热硫化; 组织结构; 光电性能;

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