氮化硅薄膜的光致发光机制
来源期刊：材料导报2012年第19期
论文作者：何贤模 徐明 芦伟
文章页码：41 - 44
关键词：氮化硅薄膜;光致发光;机制;
摘 要：SiNx的结构和性能都会随x值发生显著变化,尤其是薄膜的发光性质。同时,在不同条件下制备的SiNx薄膜中都观察到了可见光致发光现象,研究者提出了相应的机制予以解释。总结了近十年来关于SiNx薄膜的光致发光研究进展,评述了其各种发光机制。
何贤模1,2，徐明1，芦伟1,2
1. 西南民族大学电气信息工程学院,信息材料四川省重点实验室2. 四川师范大学物理与电子工程学院固体物理研究所
摘 要：SiNx的结构和性能都会随x值发生显著变化,尤其是薄膜的发光性质。同时,在不同条件下制备的SiNx薄膜中都观察到了可见光致发光现象,研究者提出了相应的机制予以解释。总结了近十年来关于SiNx薄膜的光致发光研究进展,评述了其各种发光机制。
关键词：氮化硅薄膜;光致发光;机制;
