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溶胶-凝胶法制备钌系薄膜电阻

来源期刊：稀有金属材料与工程2008年增刊第1期

论文作者：肖汉宁胡鹏飞

关键词：溶胶-凝胶; 钌; 薄膜; 电阻;

摘要：利用醋酸铅、氯化钌、正硅酸乙酯为主要原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了以钌酸铅为主晶相的钌系薄膜电阻材料,运用DTA、XRD和IR等手段对样品的结构和晶化规律进行了研究.薄膜在热处理过程中析出钉酸铅晶相,薄膜电阻方阻值随热处理峰值温度升高先减少再增加.

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肖汉宁¹，胡鹏飞¹

(1.湖南大学材料科学与工程学院,湖南,长沙,410082)

摘要:利用醋酸铅、氯化钌、正硅酸乙酯为主要原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了以钌酸铅为主晶相的钌系薄膜电阻材料,运用DTA、XRD和IR等手段对样品的结构和晶化规律进行了研究.薄膜在热处理过程中析出钉酸铅晶相,薄膜电阻方阻值随热处理峰值温度升高先减少再增加.

关键词:溶胶-凝胶; 钌; 薄膜; 电阻;

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