MEMS低功耗催化甲烷传感器脉冲供电研究

来源期刊：工矿自动化2018年第7期

论文作者：沈国杰

文章页码：27 - 31

关键词：甲烷传感器;微型机电系统;脉冲供电;载体催化;MEMS催化元件;低功耗;

摘    要：针对传统催化甲烷传感器功耗高的问题,在分析微型机电系统(MEMS)低功耗催化甲烷元件性能的基础上,提出脉冲供电工作方式。通过输出稳定性测试和灵敏度测试确定脉冲供电具体占空比,并对恒压供电和脉冲供电下元件的线性特性、零点温度特性、灵敏度特性、零点漂移及灵敏度漂移进行了测试。结果表明,脉冲供电工作方式不仅可极大地降低MEMS催化甲烷传感器的功耗,而且在零点漂移和灵敏度方面拥有更加优异的性能。