脉冲激光沉积磷掺杂多晶硅薄膜的压阻性能

王思源¹，王宙¹，付传起²，骆旭梁³，张英利²

1. 大连大学表面工程中心2. 大连大学机械工程学院3. 宁波市镇海甬安无损检测工程有限公司

摘 要：采用脉冲激光沉积法（PLD）制备磷掺杂多晶硅薄膜,研究磷掺杂分数对多晶硅薄膜压阻性能的影响。结果表明,随着磷掺杂分数增大,多晶硅薄膜的应变系数先增大后减小。在磷掺杂分数为0.3%（质量分数）时,电阻横向应变系数的绝对值达到最大,为24.3,电阻纵向应变系数的绝对值达到最大,为12.6。横向电阻应变的非线性在1%².5%之间,电阻的温度系数为0.05%/℃,应变系数的温度系数为-0.06%/℃。

关键词：脉冲激光沉积;多晶硅薄膜;磷掺杂;应变系数;