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单晶硅表面溶胶-凝胶法制备磷灰石涂层的研究

来源期刊:功能材料2010年第5期

论文作者:吴振军 李文生 袁剑民 任艳群

文章页码:812 - 815

关键词:溶胶-凝胶法;磷灰石涂层;单晶硅;

摘    要:采用溶胶-凝胶法在单晶硅表面制备了磷灰石(apatite,AP)涂层。借助SEM、EDS、XRD研究了单晶硅表面AP涂层的形貌结构与成分特征,通过模拟体液(simulated body fluid,SBF)浸泡实验研究了硅基AP涂层的体外诱导性能。研究结果表明,在500℃保温2h即可使sol-gel层转变为较致密的AP涂层,700与800℃分别保温2h得到的硅基AP涂层晶体长大且出现间隙,涂层的结晶性随热处理温度升高而增加,在800℃处理未出现AP的分解;SBF中浸泡1周后,AP涂层未出现剥离单晶硅的现象,且能够诱导骨状磷灰石新沉积层的形成,体现出较好的体外诱导性能。

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单晶硅表面溶胶-凝胶法制备磷灰石涂层的研究

吴振军1,李文生1,袁剑民2,任艳群1

1. 湖南大学化学化工学院2. 湖南大学材料科学与工程学院

摘 要:采用溶胶-凝胶法在单晶硅表面制备了磷灰石(apatite,AP)涂层。借助SEM、EDS、XRD研究了单晶硅表面AP涂层的形貌结构与成分特征,通过模拟体液(simulated body fluid,SBF)浸泡实验研究了硅基AP涂层的体外诱导性能。研究结果表明,在500℃保温2h即可使sol-gel层转变为较致密的AP涂层,700与800℃分别保温2h得到的硅基AP涂层晶体长大且出现间隙,涂层的结晶性随热处理温度升高而增加,在800℃处理未出现AP的分解;SBF中浸泡1周后,AP涂层未出现剥离单晶硅的现象,且能够诱导骨状磷灰石新沉积层的形成,体现出较好的体外诱导性能。

关键词:溶胶-凝胶法;磷灰石涂层;单晶硅;

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