铝电解电容器用不同工艺腐蚀箔的对比研究

郭红蕾¹，陈金菊¹，杨邦朝¹，冯哲圣¹

(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)

摘要:利用金相显微镜分析软质交流腐蚀箔、直交流腐蚀箔及硬质交流腐蚀箔的表面及断面蚀孔形貌,监测腐蚀箔恒电流阳极氧化过程中的升压曲线,并测试腐蚀箔阳极氧化后的比容、漏电流、抗拉强度及折弯次数.结果表明,软质交流腐蚀箔的蚀孔形貌呈灌木状;直-交流腐蚀箔的蚀孔呈乔木和灌木状分布,蚀孔中有部分大而稀疏的隧道孔,扩面倍率最小;而硬质交流腐蚀箔的蚀孔呈蜂窝状,孔洞细密,扩面倍率最大.直-交流腐蚀箔的漏电流最小,硬质交流腐蚀箔的抗拉强度及折弯次数最大.

关键词:软质交流腐蚀箔; 直-交流腐蚀箔; 硬质交流腐蚀箔; 蚀孔形貌;

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