压强对磁控溅射沉积铌膜耐磨和耐蚀性的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2008年第1期
论文作者：田修波 杨士勤 崔江涛 胡新东
关键词：溅射气压; 铌膜; 耐磨性; 耐蚀性;
摘 要：采用直流磁控溅射在钢基体上制备了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、球盘式摩擦磨损实验机和电化学分析仪研究了不同溅射气压下铌膜表面形貌、相结构、耐磨性以及耐蚀性.结果表明:低压强下,晶粒细小,膜层平滑,晶粒择优取向为(110)晶面;压强升高使得晶粒粗大,粗糙度明显提高,择优取向转变为(211)晶面.较高的和较低的溅射压强对耐磨性和耐蚀性的提高较大,适中的压强对铌膜的性能提高反而较小,这可能是由于表面缺陷和组织结构的不同造成的.
田修波1，杨士勤1，崔江涛1，胡新东1
(1.哈尔滨工业大学,现代焊接生产技术国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150001;
2.深圳国际技术创新研究院,深圳,518057)
摘要:采用直流磁控溅射在钢基体上制备了铌薄膜,分别采用扫描电镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、球盘式摩擦磨损实验机和电化学分析仪研究了不同溅射气压下铌膜表面形貌、相结构、耐磨性以及耐蚀性.结果表明:低压强下,晶粒细小,膜层平滑,晶粒择优取向为(110)晶面;压强升高使得晶粒粗大,粗糙度明显提高,择优取向转变为(211)晶面.较高的和较低的溅射压强对耐磨性和耐蚀性的提高较大,适中的压强对铌膜的性能提高反而较小,这可能是由于表面缺陷和组织结构的不同造成的.
关键词:溅射气压; 铌膜; 耐磨性; 耐蚀性;
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