氧化铝陶瓷表面连续导电金膜的制备工艺及性能

来源期刊：材料导报2021年第8期

论文作者：刘炘城 邵海成 乔冠军 陆浩杰 于刘旭 张相召 刘桂武

文章页码：8076 - 8081

关键词：磁控溅射;丝网印刷;Au膜;导电性;

摘    要：以Al₂O₃陶瓷作为基底,采用磁控溅射和丝网印刷两种工艺在其表面制备导电Au膜,并通过控制变量法制备不同参数下不同厚度的Au膜,对两种制备工艺进行了系统性的深入研究。通过高精度电阻测量仪、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）分析热处理前后Au膜的导电性能及微观形貌,采用激光共聚焦显微镜（CLSM）表征Au膜表面的粗糙度。结果表明:磁控溅射制备的纳米Au膜的导电膜厚阈值为30 nm,膜层对基底面粗糙度改变较小。对纳米Au膜进行600℃热处理后,Au发生固态润湿,导致电阻值急剧增大,导电性能下降。借助丝网印刷工艺,采用40%（质量分数）的金浆和200目丝网即可印刷得到导电性良好的Au膜,该工艺能够有效节约成本和金浆。