金属有机物化学气相沉积法制备铱涂层的形貌与结构分析
来源期刊：稀有金属材料与工程2006年第3期
论文作者：张钧 华云峰 成来飞 张立同 杨文彬
关键词：铱涂层; 金属有机物化学气相沉积; 升华温度; 显微组织;
摘 要：采用金属有机物化学气相沉积法,在不通入活性气体的条件下,研究了三乙酰丙酮铱先驱体挥发温度对铱涂层显微结构的影响.在500℃的金属铌和陶瓷石英基片上制备出亮银白色的多晶相铱涂层.分析表明:铌和石英基片上沉积的铱涂层均由两层不同结构的薄膜构成,220℃挥发先驱体沉积出由纳米级颗粒疏松堆积构成的涂层,185℃挥发先驱体沉积出致密的涂层.铱涂层表面光滑均匀,无明显缺陷.
张钧1，华云峰1，成来飞1，张立同1，杨文彬1
(1.西北工业大学超高温结构复合材料国防科技重点实验室,陕西,西安,710072)
摘要:采用金属有机物化学气相沉积法,在不通入活性气体的条件下,研究了三乙酰丙酮铱先驱体挥发温度对铱涂层显微结构的影响.在500℃的金属铌和陶瓷石英基片上制备出亮银白色的多晶相铱涂层.分析表明:铌和石英基片上沉积的铱涂层均由两层不同结构的薄膜构成,220℃挥发先驱体沉积出由纳米级颗粒疏松堆积构成的涂层,185℃挥发先驱体沉积出致密的涂层.铱涂层表面光滑均匀,无明显缺陷.
关键词:铱涂层; 金属有机物化学气相沉积; 升华温度; 显微组织;
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