金刚石薄膜生长速度研究

满卫东¹，李克林³，马志斌¹，王传新¹，王升高¹，康志成²，汪建华¹，傅朝坤³

(1.武汉化工学院湖北省微波等离子体化学与新材料重点实验室,武汉,430073;
2.中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031;
3.自贡硬质合金有限公司,自贡,643011)

摘要:在电子辅助热丝CVD中,研究刀具预处理对金刚石薄膜生长速度的影响.在保持生长条件不变的前提下,经酸腐蚀处理的刀具的侧、背面镀铜能使金刚石薄膜的生长速度从没有镀铜时的4μm/h增加到镀铜后的10.6μm/h.镀铜处理提高了刀具的电导率,使得热丝发射的电子在偏压电场的作用下,在刀具表面附近聚集,加速氢气和丙酮的裂解,从而提高金刚石薄膜生长速度.SEM和Raman测试结果表明,高速生长的金刚石薄膜仍然具有很高质量.

关键词:金刚石薄膜; 生长速度; 镀铜; 硬质合金;

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