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磁控溅射法制备氮化碳薄膜的研究进展

来源期刊：材料导报2005年增刊第1期

论文作者：毕凯陈志刚张兴国李忠学陈春刘军

关键词：磁控溅射; 氮化碳; 薄膜;

摘要：简要评述了磁控溅射法制备氮化碳(CNx)薄膜的研究进展的现状,以及磁控溅射法制备氮化碳(CNx)薄膜过程中工艺参数对薄膜的结构和性能的影响,展望了氮化碳研究的发展趋势.

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毕凯¹，陈志刚²，张兴国³，李忠学³，陈春³，刘军³

(1.镇江船艇学院,镇江,212003;
2.江苏工业学院,常州,213100;
3.江苏大学材料学院,镇江,212013)

摘要:简要评述了磁控溅射法制备氮化碳(CNx)薄膜的研究进展的现状,以及磁控溅射法制备氮化碳(CNx)薄膜过程中工艺参数对薄膜的结构和性能的影响,展望了氮化碳研究的发展趋势.

关键词:磁控溅射; 氮化碳; 薄膜;

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