二氧化铈浆料抛光机理的研究进展
来源期刊：稀土2012年第1期
论文作者：宋晓岚
文章页码：68 - 73
关键词：二氧化铈;抛光机理;物理作用;化学作用;化学机械抛光;
摘 要：由于具有抛光速率快、选择性好、自动停止等特点,二氧化铈浆料被广泛用于材料的表面抛光处理,但抛光机理研究的相对滞后严重制约其物化改性和推广。针对这一现状,本文介绍了二氧化铈浆料抛光过程中的物理作用及化学作用,总结了化学机械抛光机理,并对今后研究方向提出了展望。
宋晓岚2
2. 中南大学资源加工与生物工程学院
摘 要：由于具有抛光速率快、选择性好、自动停止等特点,二氧化铈浆料被广泛用于材料的表面抛光处理,但抛光机理研究的相对滞后严重制约其物化改性和推广。针对这一现状,本文介绍了二氧化铈浆料抛光过程中的物理作用及化学作用,总结了化学机械抛光机理,并对今后研究方向提出了展望。
关键词：二氧化铈;抛光机理;物理作用;化学作用;化学机械抛光;
