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透明导电氧化物薄膜材料及其制备技术研究进展

来源期刊：材料导报2006年增刊第2期

论文作者：夏冬林赵修建徐慢

关键词：TCO; ITO; SnO2; ZnO; 光电性能; 制备技术;

摘要：综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的结构、光电性能以及TCO薄膜制备技术的研究进展.ITO薄膜性能优异,是重要的平面显示器件用材料.掺铝ZnO薄膜价格低廉,是极具开发前景的ITO薄膜的替代材料.柔性衬底氧化物半导体透明导电薄膜的开发和应用将扩大TCO薄膜的应用领域.

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夏冬林¹，赵修建¹，徐慢¹

(1.武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,武汉,430070)

摘要:综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的结构、光电性能以及TCO薄膜制备技术的研究进展.ITO薄膜性能优异,是重要的平面显示器件用材料.掺铝ZnO薄膜价格低廉,是极具开发前景的ITO薄膜的替代材料.柔性衬底氧化物半导体透明导电薄膜的开发和应用将扩大TCO薄膜的应用领域.

关键词:TCO; ITO; SnO2; ZnO; 光电性能; 制备技术;

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