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镁合金表面非平衡磁控溅射CrN镀层结合性能和摩擦磨损性能

来源期刊:稀有金属材料与工程2013年第3期

论文作者:姚晓红 田林海 张杨 马永 唐宾

文章页码:589 - 592

关键词:镁合金;Cr-N镀层;磁控溅射;结合性能;摩擦磨损;

摘    要:采用不同偏压闭合场非平衡磁控溅射技术在镁合金表面沉积Cr-N镀层,分别对镀层的组织结构、厚度、结合性能和摩擦磨损性能进行了表征和分析。结果表明,镀层主要由Cr(N)相和少量Cr2N相组成。在偏压为60V时镀层具有较高的硬度、良好的结合性能和摩擦磨损性能。偏压进一步升高,虽然镀层硬度有所提高,但结合性能和抗磨性能均下降。

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镁合金表面非平衡磁控溅射CrN镀层结合性能和摩擦磨损性能

姚晓红,田林海,张杨,马永,唐宾

太原理工大学

摘 要:采用不同偏压闭合场非平衡磁控溅射技术在镁合金表面沉积Cr-N镀层,分别对镀层的组织结构、厚度、结合性能和摩擦磨损性能进行了表征和分析。结果表明,镀层主要由Cr(N)相和少量Cr2N相组成。在偏压为60V时镀层具有较高的硬度、良好的结合性能和摩擦磨损性能。偏压进一步升高,虽然镀层硬度有所提高,但结合性能和抗磨性能均下降。

关键词:镁合金;Cr-N镀层;磁控溅射;结合性能;摩擦磨损;

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