钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能研究
来源期刊:功能材料2004年第5期
论文作者:高志强 陈宏伟 符春林 杨传仁 赵莉
关键词:钛酸锶钡; 薄膜; 膜厚; 晶粒尺寸; 介电性能;
摘 要:采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr-T)、频率特性(εr-f)、电压特性(εr-U)及损耗的温度特性(tgδ -T)、频率特性(tgδ -f),找出了BST薄膜的非线性、损耗随尺度变化的规律.
高志强1,陈宏伟1,符春林1,杨传仁1,赵莉1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr-T)、频率特性(εr-f)、电压特性(εr-U)及损耗的温度特性(tgδ -T)、频率特性(tgδ -f),找出了BST薄膜的非线性、损耗随尺度变化的规律.
关键词:钛酸锶钡; 薄膜; 膜厚; 晶粒尺寸; 介电性能;
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