TiO2薄膜结构及氧敏性研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年第5期
论文作者：徐艳姬 徐明霞 徐廷献 谢少桥 李岩
关键词：TiO2; 氧化物掺杂; Pd修饰; 微量氧化还原; 氧敏性; 阻温特性;
摘 要：利用溶胶-凝胶技术制备了TiO2氧敏薄膜,通过氧化物掺杂和贵金属的表面修饰,在空气气氛下烧结氧敏薄膜.结果表明:600℃～800℃下处理的薄膜是以金红石为主晶相及少量锐钛矿的混合晶型,随着温度升高锐钛矿减少,900℃时锐钛矿相的峰基本消失;800℃下处理的薄膜灵敏度明显高于600℃和900℃下处理的薄膜灵敏度.W,Ce氧化物掺杂促进TiO2薄膜微量氧化还原,增加催化反应活性,使薄膜的氧气灵敏度有明显提高;以Pd对W-TiO2薄膜进行表面修饰,使薄膜的阻温特性得到了明显提高.
徐艳姬1，徐明霞1，徐廷献1，谢少桥1，李岩1
(1.天津大学,天津,300072)
摘要:利用溶胶-凝胶技术制备了TiO2氧敏薄膜,通过氧化物掺杂和贵金属的表面修饰,在空气气氛下烧结氧敏薄膜.结果表明:600℃～800℃下处理的薄膜是以金红石为主晶相及少量锐钛矿的混合晶型,随着温度升高锐钛矿减少,900℃时锐钛矿相的峰基本消失;800℃下处理的薄膜灵敏度明显高于600℃和900℃下处理的薄膜灵敏度.W,Ce氧化物掺杂促进TiO2薄膜微量氧化还原,增加催化反应活性,使薄膜的氧气灵敏度有明显提高;以Pd对W-TiO2薄膜进行表面修饰,使薄膜的阻温特性得到了明显提高.
关键词:TiO2; 氧化物掺杂; Pd修饰; 微量氧化还原; 氧敏性; 阻温特性;
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