简介概要

多孔氧化铝薄膜的制备

来源期刊：材料导报2010年第S2期

论文作者：卢云侯应应刘俊陈大凯于大蔚

文章页码：69 - 71

关键词：阳极氧化;多孔三氧化二铝薄膜;影响因素;

摘要：研究了多孔氧化铝薄膜的制备工艺以及影响其成孔效果的主要因素。采用分步阳极氧化的方法和适当的工艺步骤获得了孔洞分布均匀、孔径一致且耐水合的多孔氧化膜,此类氧化薄膜在经过后续的特殊处理后可以用于制备湿度传感器和AAO薄膜。

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卢云，侯应应，刘俊，陈大凯，于大蔚

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

关键词：阳极氧化;多孔三氧化二铝薄膜;影响因素;