简介概要

MEMS微梁疲劳频率特性测试与分析

来源期刊：功能材料与器件学报2008年第1期

论文作者：兰之康唐洁影

关键词：MEMS; 疲劳; 梁; 谐振频率;

摘要：多晶硅双端固支梁是MEMS器件中最常用的组件之一,它的疲劳特性直接关系到器件的寿命及安全性.本文针对多晶硅微梁结构进行疲劳可靠性测试,在对其施加循环静电激励后,测试了它的频率变化特性.并分析了频率向高频移动的原因,从而说明了梁的疲劳特性.

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兰之康¹，唐洁影¹

(1.东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096)

摘要:多晶硅双端固支梁是MEMS器件中最常用的组件之一,它的疲劳特性直接关系到器件的寿命及安全性.本文针对多晶硅微梁结构进行疲劳可靠性测试,在对其施加循环静电激励后,测试了它的频率变化特性.并分析了频率向高频移动的原因,从而说明了梁的疲劳特性.

关键词:MEMS; 疲劳; 梁; 谐振频率;

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