简介概要

GaN薄膜的研究进展

来源期刊：功能材料2004年第5期

论文作者：刘晓梅刘建强马瑾马洪磊杨莺歌

关键词：GaN薄膜; 研究进展; 发光机制;

摘要：由于GaN薄膜有希望应用在紫外或蓝光发光器件、探测器以及高速场效应晶体管、高温电子器件,GaN材料是当前研究的一个焦点.本文简要介绍了GaN薄膜的制备、衬底选择、掺杂、缓冲层、发光机制和表征等方面的最新进展,指出GaN材料进一步发展需要解决的关键技术问题.

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刘晓梅¹，刘建强²，马瑾²，马洪磊²，杨莺歌²

(1.山东大学,计算机科学与技术学院,山东,济南,250100;
2.山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100)

摘要:由于GaN薄膜有希望应用在紫外或蓝光发光器件、探测器以及高速场效应晶体管、高温电子器件,GaN材料是当前研究的一个焦点.本文简要介绍了GaN薄膜的制备、衬底选择、掺杂、缓冲层、发光机制和表征等方面的最新进展,指出GaN材料进一步发展需要解决的关键技术问题.

关键词:GaN薄膜; 研究进展; 发光机制;

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