温和氢气等离子体对石墨烯的各向异性刻蚀

来源期刊：材料科学与工程学报2018年第6期

论文作者：沈钢 肖少庆 张秀梅 顾晓峰

文章页码：970 - 1958

关键词：石墨烯;减薄;温和等离子体;拉曼;各向异性;

摘    要：本文采用一种简单有效的方法对石墨烯进行处理,可将多层石墨烯减薄为单层或任意层。采用自主研发的温和等离子体系统,以氢气作为先驱气体对多层石墨烯进行处理,再对处理过的样品进行高温退火。研究表明,温和氢气等离子体能利用氢离子的轰击效应对顶层石墨烯进行刻蚀,刻蚀过程具有良好的各向异性,刻蚀后氮气环境下的高温退火能够有效修复刻蚀过程中产生的晶格缺陷,从而得到品质较好的单层与少层石墨烯。本研究为制备品质良好的单层及少层石墨烯提供了一种新的方法。