部分熔融Ce-Fe合金低温快速抛光CVD金刚石膜
来源期刊：稀有金属材料与工程2007年第5期
论文作者：王树彬 张跃 田莳 孙玉静 李俊杰
关键词：Ce-Fe合金; 低温; 高效; 抛光; CVD金刚石膜;
摘 要：采用溶碳活性很高的稀土金属Ce和过渡金属Fe熔炼出Ce-7%Fe(原子分数,下同)合金,利用该合金对CVD金刚石膜进行热化学抛光.结果表明:Ce-7%Fe合金在592℃就可以抛光金刚石膜,比报道的稀土抛光温度要低200℃以上;在680℃抛光3 h表面粗糙度Ra值由原来的5.95 μm降低到0.69 μm,抛光效率高达30 μm/h; SEM观察表明,抛光使膜的表面光洁度有明显提高;经拉曼光谱检测,抛光没有对金刚石膜造成任何污染.
王树彬1，张跃1，田莳1，孙玉静1，李俊杰1
(1.北京航空航天大学,北京,100083)
摘要:采用溶碳活性很高的稀土金属Ce和过渡金属Fe熔炼出Ce-7%Fe(原子分数,下同)合金,利用该合金对CVD金刚石膜进行热化学抛光.结果表明:Ce-7%Fe合金在592℃就可以抛光金刚石膜,比报道的稀土抛光温度要低200℃以上;在680℃抛光3 h表面粗糙度Ra值由原来的5.95 μm降低到0.69 μm,抛光效率高达30 μm/h; SEM观察表明,抛光使膜的表面光洁度有明显提高;经拉曼光谱检测,抛光没有对金刚石膜造成任何污染.
关键词:Ce-Fe合金; 低温; 高效; 抛光; CVD金刚石膜;
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