利用改进CVD工艺在WC-Co硬质合金牙钻上沉积金刚石薄膜
来源期刊:超硬材料工程2005年第3期
论文作者:W.Ahmed 蒋修治
文章页码:46 - 51
关键词:碳化钨硬质合金;热丝CVD;金刚石;切削刀具;
摘 要:利用改进热丝化学气相沉积系统在(WC-Co)硬质合金牙钻切刃上沉积粘着性金刚石薄膜。试验发现,原生薄膜通常为聚晶,且薄膜覆盖效果良好。利用显微拉曼光谱表征了牙钻尖端、牙钻中部和牙钻末端等3个位置的应力分布。经计算,牙钻背部、中部和尖端的压应力分别为-1.7GPa、-2.3GPa和-3.4GPa。经双色光测高温计测量发现,热丝温度是沿热丝螺旋方向变化的。螺旋热丝中心区的温度比热丝边缘高。牙钻尖端刃口的温度比牙钻中部和背部都高。切削齿距热丝较近,可望处在稍高的温度。因此,沉积在切削齿刃口上的涂层比平板状牙钻基材厚。
W.Ahmed,蒋修治
摘 要:利用改进热丝化学气相沉积系统在(WC-Co)硬质合金牙钻切刃上沉积粘着性金刚石薄膜。试验发现,原生薄膜通常为聚晶,且薄膜覆盖效果良好。利用显微拉曼光谱表征了牙钻尖端、牙钻中部和牙钻末端等3个位置的应力分布。经计算,牙钻背部、中部和尖端的压应力分别为-1.7GPa、-2.3GPa和-3.4GPa。经双色光测高温计测量发现,热丝温度是沿热丝螺旋方向变化的。螺旋热丝中心区的温度比热丝边缘高。牙钻尖端刃口的温度比牙钻中部和背部都高。切削齿距热丝较近,可望处在稍高的温度。因此,沉积在切削齿刃口上的涂层比平板状牙钻基材厚。
关键词:碳化钨硬质合金;热丝CVD;金刚石;切削刀具;