金刚石光学窗口相关元件的研究进展
来源期刊:材料科学与工艺2020年第3期
论文作者:王伟华 代兵 王杨 舒国阳 姚凯丽 刘本建 赵继文 刘康 杨磊 朱嘉琦 韩杰才
文章页码:42 - 57
关键词:金刚石光学窗口相关元件;红外窗口/整流罩;激光武器;微波武器;回旋器;
摘 要:金刚石光学窗口相关元件是一种将金刚石优异的光学性能,与其他优异的力学、热学、电学性能和化学性能相结合,通过微波等离子体化学气相沉积工艺等多种合成方法制备的具有不同几何结构、可在极端条件下使用的一类光学器件。本文将以X射线、深紫外到微波范围内不同波段对应的不同种类的光学元件应用为基础,对近年来国内外发展起来的金刚石光学元件的种类、制备与加工进行综述,总结了光学窗口元件的研究现状,并对未来的发展方向进行了展望。
王伟华1,代兵1,王杨1,舒国阳1,姚凯丽1,刘本建1,赵继文1,刘康1,杨磊2,朱嘉琦1,3,韩杰才1
1. 特种环境复合材料技术国家级重点实验室(哈尔滨工业大学)2. 哈尔滨工业大学分析测试中心3. 微系统与微结构制造教育部重点实验室(哈尔滨工业大学)
摘 要:金刚石光学窗口相关元件是一种将金刚石优异的光学性能,与其他优异的力学、热学、电学性能和化学性能相结合,通过微波等离子体化学气相沉积工艺等多种合成方法制备的具有不同几何结构、可在极端条件下使用的一类光学器件。本文将以X射线、深紫外到微波范围内不同波段对应的不同种类的光学元件应用为基础,对近年来国内外发展起来的金刚石光学元件的种类、制备与加工进行综述,总结了光学窗口元件的研究现状,并对未来的发展方向进行了展望。
关键词:金刚石光学窗口相关元件;红外窗口/整流罩;激光武器;微波武器;回旋器;