砷化镓材料的发展与前景
来源期刊：世界有色金属2002年第8期
论文作者：蒋荣华 肖顺珍
文章页码：7 - 13
关键词：GaAs材料;微电子材;光电子材料;单晶生长工艺;LEC;VCZ;HB;VGF;VB;
摘 要：综述了世界GaAs材料的生长技术发展状况、生产状况、应用和市场状况及发展趋势。
蒋荣华，肖顺珍
峨眉半导体材料研究所
摘 要：综述了世界GaAs材料的生长技术发展状况、生产状况、应用和市场状况及发展趋势。
关键词：GaAs材料;微电子材;光电子材料;单晶生长工艺;LEC;VCZ;HB;VGF;VB;
