多孔TiO₂薄膜的制备研究进展

王达¹，刘建敏²，周曦亚¹

1. 华南理工大学材料科学与工程学院2. 华南理工大学化学与化工教学实验中心

摘 要：综述了液相法（包括溶胶-凝胶法、蒸发诱导自组装法等）、电化学法（包括阳极氧化法、微弧氧化法等）、物理气相法（包括磁控溅射法、电子束蒸发法等）、化学气相法等制备多孔TiO2薄膜的方法,介绍了相应的合成原理,指出不同方法制备的多孔TiO2薄膜在表面形貌、孔径尺寸、取向和孔壁厚度等方面存在很大差异。通过对比不同制备方法的优缺点并结合工业化生产成本,提出了今后多孔TiO2薄膜制备技术的发展方向,并展望了多孔TiO2薄膜广阔的应用前景。

关键词：多孔TiO2薄膜;液相法;物理气相法;电化学法;