液相电沉积类金刚石薄膜的相关物理化学问题
来源期刊：无机材料学报2002年第3期
论文作者：朱鹤孙 付强 酒金婷 汪浩
关键词：DLC薄膜; 液相电沉积; 碳源; 反应机理;
摘 要：利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(DLC),讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄膜中sp3碳的生长;最后,作者提出了液相沉积类金刚石薄膜的反应机理-极化-反应机制,在电场的作用下,有机分子被极化并在电极表面反应生成DLC薄膜和其他产物.
朱鹤孙1，付强1，酒金婷2，汪浩1
(1.北京理工大学材料中心,北京,100081;
2.北京服装学院材料工程系,北京,100029)
摘要:利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(DLC),讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄膜中sp3碳的生长;最后,作者提出了液相沉积类金刚石薄膜的反应机理-极化-反应机制,在电场的作用下,有机分子被极化并在电极表面反应生成DLC薄膜和其他产物.
关键词:DLC薄膜; 液相电沉积; 碳源; 反应机理;
【全文内容正在添加中】
