p-Si薄膜在氢氟酸溶液中的电化学抛光
来源期刊：材料热处理学报2011年第S1期
论文作者：胡飞 王晓丹 李小红 胡跃辉
文章页码：27 - 29
关键词：电化学抛光;p-Si薄膜;阳极溶解;微细加工;
摘 要：p-Si薄膜在氢氟酸溶液中的电化学抛光是通过阳极溶解降低薄膜表面粗糙度。本文用线性扫描研究了在不同的氢氟酸浓度下的电化学行为,发现随氢氟酸溶液浓度的增加阳极溶解速率也随之增加。当氢氟酸浓度为4%及6%时,可得到平整的表面。电化学抛光技术为制备光亮硅面提供了一种简单可行的方法。
胡飞，王晓丹，李小红，胡跃辉
江西省先进陶瓷材料重点实验室景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院
摘 要：p-Si薄膜在氢氟酸溶液中的电化学抛光是通过阳极溶解降低薄膜表面粗糙度。本文用线性扫描研究了在不同的氢氟酸浓度下的电化学行为,发现随氢氟酸溶液浓度的增加阳极溶解速率也随之增加。当氢氟酸浓度为4%及6%时,可得到平整的表面。电化学抛光技术为制备光亮硅面提供了一种简单可行的方法。
关键词：电化学抛光;p-Si薄膜;阳极溶解;微细加工;
