InGaP/GaAs微波HBT器件与电路研究及应用进展
来源期刊:材料导报2006年第12期
论文作者:林玲 徐安怀 孙晓玮 齐鸣
关键词:异质结双极晶体管; InGaP/GaAs; 微波单片集成电路;
摘 要:概述了近年来微波InGaP/GaAs异质结双极晶管(HBT)器件和集成电路的研究和应用现状,着重阐述了HBT器件的热设计、降低偏移电压、离子注入隔离、湿法腐蚀,以及用于电路设计的等效电路模型等关键问题.
林玲1,徐安怀1,孙晓玮1,齐鸣1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)
摘要:概述了近年来微波InGaP/GaAs异质结双极晶管(HBT)器件和集成电路的研究和应用现状,着重阐述了HBT器件的热设计、降低偏移电压、离子注入隔离、湿法腐蚀,以及用于电路设计的等效电路模型等关键问题.
关键词:异质结双极晶体管; InGaP/GaAs; 微波单片集成电路;
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