溶胶-凝胶法与射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征对比
来源期刊：材料工程2004年第11期
论文作者：任思雨 孙汪典 王英连 刘玉华
关键词：ZnO薄膜; 溶胶-凝胶; 磁控溅射;
摘 要：分别对溶胶-凝胶法和磁控溅射法制备ZnO进行了详细的介绍,并借助X射线衍射、原子力显微镜、拉曼光谱分析、紫外吸收等检测手段对这两种方法生长的薄膜进行了分析比较.分析显示:相同石英基底,相同退火温度下生长ZnO薄膜,磁控溅射法生长的ZnO薄膜要比溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜有更优异的c轴取向特性,生长的薄膜结晶更加均匀、致密.
任思雨1，孙汪典1，王英连1，刘玉华1
(1.暨南大学物理系,广州,510632)
摘要:分别对溶胶-凝胶法和磁控溅射法制备ZnO进行了详细的介绍,并借助X射线衍射、原子力显微镜、拉曼光谱分析、紫外吸收等检测手段对这两种方法生长的薄膜进行了分析比较.分析显示:相同石英基底,相同退火温度下生长ZnO薄膜,磁控溅射法生长的ZnO薄膜要比溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜有更优异的c轴取向特性,生长的薄膜结晶更加均匀、致密.
关键词:ZnO薄膜; 溶胶-凝胶; 磁控溅射;
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