金刚石薄膜异质外延的研究状况与展望
来源期刊：材料导报2002年第10期
论文作者：满卫东 马志斌 王传新 王升高 汪建华
关键词：金刚石; 膜异质外延; CVD;
摘 要：综述了化学气相沉积异质外延金刚石薄膜机理及工艺的研究现状,分析了存在的问题,并对今后的研究进行了展望.
满卫东1，马志斌1，王传新1，王升高1，汪建华1
(1.中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031;
2.武汉化工学院材料科学与工程系,武汉,430073)
摘要:综述了化学气相沉积异质外延金刚石薄膜机理及工艺的研究现状,分析了存在的问题,并对今后的研究进行了展望.
关键词:金刚石; 膜异质外延; CVD;
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