EDS和EELS测定锆合金中锆氧化物的氧含量对比

来源期刊：理化检验物理分册2018年第10期

论文作者：张诚 宋西平

文章页码：733 - 1488

关键词：透射电镜;锆氧化物;氧含量;X射线能量分散谱仪;电子能量损失谱仪;

摘    要：分别采用X射线能量分散谱仪（EDS）和电子能量损失谱仪（EELS）对锆合金中析出的锆氧化物相的氧含量（原子分数）及分布进行了测试,并对测试结果进行了对比。结果表明:EELS测得的锆氧化物中的氧含量为67.1%,与ZrO₂的氧含量接近（66.7%）,而EDS测得的锆氧化物中的氧含量仅为30.1%,与ZrO₂的氧含量相差甚远;经过选区电子衍射花样标定,该锆氧化物为ZrO₂相,与EELS分析结果一致,因此利用EELS技术测定氧含量具有更高的精确度和可靠性,EELS可以用于氧化物的直接标定;同时,利用EELS成像可以清晰地显示出氧元素的偏聚状态,而EDS成像未能显示出氧元素的偏聚状态。