金刚石电沉积绞合线锯的开发
来源期刊：超硬材料工程2004年第2期
论文作者：石川宪一
关键词：磨削;切割;金刚石磨粒;线锯;电镀;绞合线;
摘 要：目前在集成电路基底用硅片制造中 ,切割工序采用磨粒悬浊液的多线锯切正在成为主流。但是 ,多线锯切存在切割性能受悬浊液供应状态的影响、加工效率低下、加工精度不佳等问题。因此 ,为了提高作为下一代切割加工法而引人注目的金刚石电沉积线锯的效率和使用寿命 ,研究开发出芯线为绞合线的金刚石线锯 ,并介绍该线锯的制作方法及其切割性能。
石川宪一
摘 要：目前在集成电路基底用硅片制造中 ,切割工序采用磨粒悬浊液的多线锯切正在成为主流。但是 ,多线锯切存在切割性能受悬浊液供应状态的影响、加工效率低下、加工精度不佳等问题。因此 ,为了提高作为下一代切割加工法而引人注目的金刚石电沉积线锯的效率和使用寿命 ,研究开发出芯线为绞合线的金刚石线锯 ,并介绍该线锯的制作方法及其切割性能。
关键词：磨削;切割;金刚石磨粒;线锯;电镀;绞合线;
