复合离子液体中恒电流电沉积制备Ir层研究

来源期刊：稀有金属材料与工程2015年第4期

论文作者：钱建刚 李鑫 栾海静 李彭瑞 李海婷

文章页码：961 - 965

关键词：复合离子液体;BMIC;BMIBF4;电沉积;铱;

摘    要：对BMIC+BMIBF4复合离子液体中利用恒电流电沉积的方法在Mo基体上制备Ir层进行了研究。利用扫描电子显微镜（SEM）和X射线光电子能谱仪（XPS）对Ir层的表面形貌和成分进行了分析。结果表明:在BMIC+BMIBF4+EG复合体系中可以电沉积制备平整致密的单质Ir层且影响因素较多,如温度、电流密度、主盐浓度及沉积时间等,且这些因素可调节的范围比较窄。通过对比各因素间的影响得出,在此复合体系中恒电流电沉积制备Ir层的优化工艺为Ir Cl3浓度50 g/L,电流密度1.0 m A/cm2,沉积温度90℃,沉积时间20 h。