微结构PDMS压电俘能器设计与特性研究

李铮¹，董维杰^1,2，朱慧超¹

1. 大连理工大学电子信息与电气工程学部2. 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

摘 要：设计了一种具有三明治结构的微结构驻极体膜,采用旋涂、"软刻蚀"等工艺,结合氧等离子体键合、恒压电晕放电技术,以铜网作为电极,摸索出完整的工艺流程,制作了基于微结构PDMS驻极体的柔性压电俘能器。测量了驻极体膜的压电系数以及力-电特性。结果显示,微结构PDMS压电俘能器的压电系数（d33）为25pC/N;在5N周期性压力下,最大能够产生1.98Vpp的开路电压;驻极体膜的谐振频率为32Hz,且产生的电压与受到的压力呈线性关系。

关键词：柔性压电俘能器;驻极体;PDMS;