复合分子泵牵引级螺旋槽深对压缩比的影响

来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2016年第10期

论文作者：王晓冬 张磊 巴德纯 陶继忠

文章页码：1437 - 1440

关键词：复合分子泵;牵引级;理论模型;压缩比;最优槽深;

摘    要：建立了描述复合分子泵牵引级抽气性能的理论模型.依据该理论模型,在牵引级不同螺旋升角、转子-定子间隙、转子转速、被抽气体流动状态条件下,对牵引级螺旋槽深与压缩比的关系进行了研究.结果表明:压缩比随螺旋槽深的减小,先增加后减小,存在最优螺旋槽深,使牵引级的压缩比达到最大;螺旋升角对最优螺旋槽深影响较小;最优螺旋槽深随转子-定子间隙减小而减小,随转子转速的增加而增加;当被抽气体为黏滞流时,最优槽深值更小.