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金刚石薄膜的低温沉积研究

来源期刊：International Journal of Minerals Metallurgy and Materials1995年第2期

论文作者：王建军吕反修杨保雄

关键词：金刚石薄膜;低温沉积;微波等离子体;

摘要：采用微波等离子体辅助化学气相沉积法成功地在２８０～４４５℃沉积了金刚石薄膜。发现低温沉积的金刚石薄膜的形核密度随着温度的降低可得到极大提高；表面粗糙度随着温度的降低可得到大幅度的降低。

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王建军，吕反修，杨保雄

关键词：金刚石薄膜;低温沉积;微波等离子体;