纳米 MOSFET/SOI器件新结构
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第2期
论文作者：林成鲁 张正选
关键词：纳米 MOSFET; SOI; 双栅 MOSFET; FinFET; SiGe/Si;
摘 要：重点介绍器件进入纳米尺度后出现的 MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄 SOI器件、双栅 MOSFET、 FinFET和应变沟道等 SOI器件,并对它们的性能进行了分析.
林成鲁1，张正选1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050)
摘要:重点介绍器件进入纳米尺度后出现的 MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄 SOI器件、双栅 MOSFET、 FinFET和应变沟道等 SOI器件,并对它们的性能进行了分析.
关键词:纳米 MOSFET; SOI; 双栅 MOSFET; FinFET; SiGe/Si;
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