LED晶圆贴片过程中压力的二阶段模糊决策与控制

王佐勋^1,2，徐德¹

1. 中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心2. 齐鲁工业大学电气工程与自动化学院

摘 要：针对LED晶圆贴片过程,设计一种利用阀门的开关和开度控制气缸内气压的压力控制系统,提出一种多目标分阶段决策和控制的方法,实现活塞运动和加压控制.根据活塞的位移和压力,采用逻辑决策方法,选择需要控制的阀门.根据规划压力与实测压力的差值及其差值变化率,利用模糊自适应PID控制方法控制阀门的开度.采用半张量积的方法将逻辑决策和模糊控制中的推理转变成矩阵形式,以简化运算量,提高运算速度和控制精确度.

关键词：LED晶圆贴片;模糊决策和控制;压力控制;半张量积;