C-H-O和C-H-N体系生长金刚石膜的气相化学模拟
来源期刊：无机材料学报2004年第2期
论文作者：廖源 戚学贵 王冠中 陈则韶
关键词：化学气相沉积; 金刚石膜; 气相化学; 相图;
摘 要：数值模拟了C-H-O和C-H-N体系的气相化学,构建了含氧和含氮气源化学气相沉积金刚石膜的三元相图,探讨了加氧和加氮影响金刚石膜生长的途径.结果表明,甲基是金刚石生长主要的前驱基团,乙炔导致非金刚石碳沉积,原子氢刻蚀非金刚石碳.通过气相反应改变这些基团的浓度是加氧的一个重要作用途径,而加氮在改变这些基团浓度的同时,CN等含氮基团还强烈地参与了金刚石膜成核和生长的表面过程.
廖源1，戚学贵2，王冠中1，陈则韶2
(1.中国科学技术大学物理系,合肥,230026;
2.中国科学技术大学工程科学学院,合肥,230027)
摘要:数值模拟了C-H-O和C-H-N体系的气相化学,构建了含氧和含氮气源化学气相沉积金刚石膜的三元相图,探讨了加氧和加氮影响金刚石膜生长的途径.结果表明,甲基是金刚石生长主要的前驱基团,乙炔导致非金刚石碳沉积,原子氢刻蚀非金刚石碳.通过气相反应改变这些基团的浓度是加氧的一个重要作用途径,而加氮在改变这些基团浓度的同时,CN等含氮基团还强烈地参与了金刚石膜成核和生长的表面过程.
关键词:化学气相沉积; 金刚石膜; 气相化学; 相图;
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