碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究
来源期刊：材料工程2008年第10期
论文作者：韩建强 卢少勇 李青 王疆英
关键词：AFM探针; 削角; 硅尖; 各向异性腐蚀; 微电子机械系统;
摘 要：氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥.通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖.更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应.
韩建强1，卢少勇1，李青1，王疆英1
(1.中国计量学院MEMS器件研究室,杭州,310018)
摘要:氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥.通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖.更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应.
关键词:AFM探针; 削角; 硅尖; 各向异性腐蚀; 微电子机械系统;
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