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LiCl/SiO2-Al2O3薄膜的纳米结构和湿敏特性

来源期刊：无机材料学报1999年第6期

论文作者：张良莹姚熹翟继卫赵鹏

关键词：氯化锂; 薄膜; 湿敏;

摘要：通过溶胶-凝胶工艺制得具有良好湿敏特性的LiCl/SiO2-Al2O3薄膜材料,利用XRD和AFM对这类薄膜进行了结构表征. 结果表明,具有纳米分相结构的薄膜在全湿范围内阻抗值的变化>3个数量级,阻抗的对数值与相对湿度的关系具有较好的线性度,吸湿响应<30s,脱湿响应<60s.

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张良莹¹，姚熹¹，翟继卫²，赵鹏¹

(1.西安交通大学电子材料研究所,西安,710049;
2.同济大学功能材料研究所,上海,200092)

摘要:通过溶胶-凝胶工艺制得具有良好湿敏特性的LiCl/SiO2-Al2O3薄膜材料,利用XRD和AFM对这类薄膜进行了结构表征. 结果表明,具有纳米分相结构的薄膜在全湿范围内阻抗值的变化>3个数量级,阻抗的对数值与相对湿度的关系具有较好的线性度,吸湿响应<30s,脱湿响应<60s.

关键词:氯化锂; 薄膜; 湿敏;

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