等离子喷涂制备压电石英膜材料及性能分析

来源期刊：兵器材料科学与工程2012年第4期

论文作者：张剑 陈文革 王艳丽 赵姗姗 卓磊

文章页码：53 - 57

关键词：等离子喷涂;SiO2膜;压电材料;压电性能;

摘    要：采用大气等离子喷涂技术制备SiO2膜压电材料,利用XRD和SEM研究其组织结构,同时对其介电常数ε、介电损耗tanδ、压电常数d33、机械品质因数Q等性能进行测试。结果表明:采用大气等离子喷涂工艺可制备出相结构主要由α-石英和α-方石英共同组成组织较为致密、缺陷较多的SiO2压电膜,压电常数d33和介电常数εr随膜厚度的增加而增加,介电损耗tanδ随膜厚度的增加而减小;介电常数εr、介电损耗tanδ、机械品质因数Q随频率的增加而减小,当SiO2膜厚为5mm,压电常数d33最大值为2.3 pC/N。