ATMP改善铝阳极氧化膜高温耐水合特性的研究
来源期刊：功能材料2006年第9期
论文作者：陈金菊 袁正希 蒋美连 杨邦朝
关键词：铝阳极氧化膜; 表面处理; 热处理; 升压时间; 高温耐水合特性;
摘 要：采用浸渍-热处理法,用表面处理剂氨基三甲叉膦酸(ATMP)对铝阳极氧化膜进行表面处理,研究了ATMP溶液的浓度、温度以及热处理温度对氧化膜升压时间和比容的影响.结果表明:随着热处理温度的升高,氧化膜的升压时间先减小,后延长,400℃时的升压时间最短,氧化膜的比容变化率随热处理温度的升高逐渐减小;溶液的温度和浓度对氧化膜的升压时间影响不明显,但对氧化膜的比容及其比容变化率有较大的影响.FTIR分析证实铝阳极氧化膜采用此方法进行表面处理后,有效地改善了其高温耐水合特性.
陈金菊1，袁正希1，蒋美连1，杨邦朝1
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054)
摘要:采用浸渍-热处理法,用表面处理剂氨基三甲叉膦酸(ATMP)对铝阳极氧化膜进行表面处理,研究了ATMP溶液的浓度、温度以及热处理温度对氧化膜升压时间和比容的影响.结果表明:随着热处理温度的升高,氧化膜的升压时间先减小,后延长,400℃时的升压时间最短,氧化膜的比容变化率随热处理温度的升高逐渐减小;溶液的温度和浓度对氧化膜的升压时间影响不明显,但对氧化膜的比容及其比容变化率有较大的影响.FTIR分析证实铝阳极氧化膜采用此方法进行表面处理后,有效地改善了其高温耐水合特性.
关键词:铝阳极氧化膜; 表面处理; 热处理; 升压时间; 高温耐水合特性;
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